精密機器や半導体製造装置に使われる部品は、装飾用途以上に厳密な表面精度が求められることがあります。本記事では、神奈川県川崎市で1967年から研磨一筋の松本研磨工業が、精密部品研磨で求められる精度の考え方、半導体製造装置部品など高精度用途での注意点、機械研磨で対応できる範囲について解説します。
精密部品の研磨とは
精密部品の研磨とは、計測機器・光学部品・産業用装置の部品など、寸法・表面性状に高い精度が求められる部品の表面を整える加工です。松本研磨工業でも、タービンブレードの鏡面仕上げなど、精密な仕上がりが求められる案件に対応してきました。
精密部品研磨で求められる精度
| 用途 | Ra値の目安 | 備考 |
|---|---|---|
| 一般的な精密機械部品 | Ra 0.2〜0.8μm | 摺動部・接合部など機能面が重視される部位 |
| 光学部品・反射板 | Ra 0.05〜0.2μm | 光の反射・透過性能に直結する精度 |
| 半導体製造装置部品 | Ra 0.1μm以下が求められることが多い | 用途によりさらに厳しい数値が指定される場合もある |
Ra値の基本的な考え方は表面粗さとは？Ra・Rz・Rmaxの違いと読み方もあわせてご覧ください。
半導体製造装置部品など高精度用途での研磨
半導体製造装置の部品は、表面性状の精度に加えて「パーティクル（微細な異物）の混入を避ける」という観点が特に重視されます。研磨材の粒子が表面に残留したり、埋め込まれたりすることを極力避ける必要があるため、電解研磨やラッピング研磨といった、機械的な接触を伴わない工法が使われることも少なくありません。
対応工法と精度の限界
機械研磨（バフ研磨）で届く精度は、素材・形・部品の状態によって変わります。
- バフ研磨での鏡面仕上げ：鏡のように映り込む、光沢のある仕上がりが得られます。図面に表面粗さの指定がある場合はお知らせください。部品の素材・形・状態を見て、対応できるか確認します。バフ研磨とは？特徴・向いている素材・Ra値の見方もご参照ください。
- それ以上の精度が必要な場合：ラッピング研磨・電解研磨など、別の工法との組み合わせが必要になることがあります。
- 試作段階での確認：量産前に試作品でRa値を確認したいというご相談も多くいただきます。試作品の研磨とはもあわせてご覧ください。
まとめ
精密部品の研磨は、装飾用途以上に厳密なRa値管理が求められる分野です。半導体製造装置部品のようにパーティクル管理まで求められる用途では、機械研磨だけでなく電解研磨・ラッピング研磨との使い分けが必要になることもあります。松本研磨工業では機械研磨の範囲で対応可能な精密部品の研磨に対応しています。
「求められる精度に機械研磨で対応できるか知りたい」という場合は、神奈川県川崎市で1967年創業の松本研磨工業にご相談ください。図面がなくても、現物・写真をもとに対応可能な範囲をご案内します。
よくある質問
Q. 半導体製造装置部品の研磨は対応できますか？
一般的な機械研磨（バフ研磨等）で対応できる範囲であればお受けしています。クリーンルーム対応や電解研磨が必須となる工程については、内容をお伺いした上で対応可否をご案内します。
Q. 精密部品の研磨でどのくらいのRa値まで対応できますか？
仕上がりは素材・形・部品の状態によって変わるため、一律の数値はお示ししていません。図面に表面粗さの指定がある場合はお知らせください。部品の素材・形・状態を見て、対応できるか確認します。パーティクル管理が厳密に必要な用途については、工法から改めてご相談ください。